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发布时间:2019-10-30 15:39人气:

空气净化

6.1 一般规定

6.1.1 洁净的生产环境是生产工艺的需要,是确保产品的成品率和产品质量的可靠性、长寿命所必需的。随着我国国民经济的发展,各行各业对生产环境的温度、相对湿度和洁净度的要求也越来越高。例如:大规模和超大规模集成电路的发展很快,在1980年时其集成度只有64kB,而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成电路前工序生产所要求生产环境的洁净度等级只有4级和5级,而1GB集成电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高到1级和2级(0.1μm)。
不同的生产工艺、不同的生产工序对生产环境的要求也是不相同的,因此,确定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺、不同工序对环境的洁净度要求而定。
根据不同生产工艺、不同生产工序对环境洁净度的不同要求,该高则高,该低则低,尽量缩小高洁净度等级部分的面积,以局部 高等级净化和全室较低等级净化的洁净室系统代替全室高等级净化的洁净室系统。既能确保不同生产工艺对环境的要求,又能大幅度地降低初投资和运行费用。
例如:对于生产1GB超大规模集成电路前工序的洁净室来说,在整个生产过程中只有少数工序(制版、光刻等)对环境的洁净度等级要求最高为1级或2级,而其他大部分工序只要求5级、6级,甚至只有7级。不需将全部洁净室都设计为1级或2级。

6.1.4 人是洁净室内主要的发尘源,作业人员进入洁净室必须穿着与洁净室的空气洁净度等级相适应的洁净工作服。由于洁净工作服的透气性较差,为了保证作业人员的工作环境,提高劳动生产率,在洁净室生产工艺对环境的温、湿度没有特殊要求时,洁净室内的温度主要是为了作业人员的舒适。因此,洁净室温度冬季为20℃~22℃,夏季为24℃~26℃,湿度冬季为30%~50%,夏季为50%~70%,比较适宜。由于洁净室(区)的温度、相对湿度首先应按生产工艺要求确定,只有在生产工艺无要求时,才能按本条的规定根据作业人员的舒适度确定,但在本规范实施中因洁净厂房生产的产品多种多样,作业人员多少和工作条件也不相同,所以强制执行有困难,为此本次修订改为推荐性条文。

6.1.5 本条为强制性条文。现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 50019中对一般工业厂房的新鲜空气量的规定为每人每小时不小于30m³。由于新鲜空气量是确保洁净室(区)作业人员健康的重要条件之一,所以本次修订中对洁净室(区)的新鲜空气量规定为应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和,保证供给洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。两项中的最大值。

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