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无尘室洁净度的检测方法

发布时间:2019-09-24 12:51人气:


1.风量或风速的检测
1.1.对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离高效过滤器 0.3m,垂直于气流的截面作为采样测试截面,截面上测点间距不宜大于 0.6m,测点数不应少于5个,以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。
1.2.对于非单向流洁净室,采用风口法或风管法确定送风量,做法如下:
1.2.1风口法是在安装有高效过滤器的风口处,根据风口开头连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口开头及内截面相同,长度等于2倍风口长边 长的直管段,连接于风口外部。在辅助风管出口平面上,按最少测点数不少于6点均匀 布置,使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后,以求取的风口截面平均风速乘以风 口净截面积求取测定风量。
1.2.2.对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以钻孔时,可以用风管法确定风 量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长,局部阻力部件后5 部管径或长边长的部位。
对于矩形风管,是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近 正方形,边长不应大于 200mm,测点应位于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜 少于3个。
对于圆形风管,应根据管径大小,将截面划分成若干个面积相同的同心圆环,每个 圆环测4点。根据管径确定圆环数量,不宜少于3个。
2.静压差的检测
2.1.静压差的测定应

在所有的门关闭的条件下,由高压向低压,由平面布置上与外界最远的里间房间开始,依次向外测定。
2.2.采用的微差压力计,其灵敏度不应低于 2.0Pa。
2.3. 有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室,其洞口处应有合理的气流流向。洞口 的平均风速大于等于 0.2m/s 时,可用热球风速仪检测。
3.空气过滤器泄漏测试
3.1 高效过滤器的检漏,应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器。D 类高 效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。
3.2 采用粒子计数器检漏高效过滤器,其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于等于 0.5μm 尘粒,浓度应大于或等于 3.5×105pc/m3 ;或对 大于或等于 0.1μm 尘粒,浓度应大于或等于 3.5×107pc/m3;若检测 D 类高效过滤器, 对大于或等于 0.1μm 尘粒,浓度应大于或等于 3.5×109pc/m3。
3.3.泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测 得的泄漏浓度换算成透过率,高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 2 倍;D类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 3 倍。 B.3.4.在移动扫描检测工程中,应对计数突然递增的部位进行定点检验。
4.室内空气洁净度等级的检测
4.1.空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。
4.2.检测仪器的选用:应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器,在仪器 选用时应考虑粒径鉴别能力,粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格 证书。
4.3.采样点的规定:
4.3.1.最低限度的采样点数 NL,见表 B.4.3;
表 B.4.3 最低限度的采样点数 NL 表
测点数
NL
2 3 4 5 6 7 8 9 10
洁净区 面积 A
(m2)
2.1~
6.0
6.1~
12.0
12.1~
20.0
20.1~
30.0
30.1~
42.0
42.1~
56.0
56.1~
72.0
72.1~
90.0
90.1~
110.0
注:1 在水平单向流时,面积 A 为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。
2 最低限度的采样点数 NL 按公式 NL =A0.5 计算(四舍五入取整数)。
                 
4.3.2.采样点应均匀分布于整个面积内,并位于工作区的高度(距地坪 0.8m 的水平 面),或设计单位、业主特指的位置。
4.4 采样量的确定:
4.4.1.每次采样的最少采样量见表 B.4.4;
表 B.4.4 每次采样的最少采样量 Vs(L)表
洁净度等级 粒径(μm)          
0.1 0.2 0.3 0.5 1.0 5.0  
1 2000 8400 ---- ----- ----- ----
2 200 840 1960 5680 ------ ----
3 20 84 196 568 2400 -----
 
4 2 8 20 57 240 ------
5 2 2 2 6 24 680
6 2 2 2 2 2 68
7 ----- ----- ----- 2 2 7
8 ---- ---- ----- 2 2 2
9 ----- ----- ------ 2 2 2
4.4.2.每个采样点的最少采样时间为 1min,采样量至少为 2L;
4.4.3.每个洁净室(区)最少采样次数为3次。当洁净区仅有一个采样点时,则在该点至少采样 3 次;
4.4.4.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境,采样量很大,可采用 ISO14644—1 附录 F 规定的顺序采样法。
4.5 检测采样的规定:
4.5.1.采样时采样口处的气流速度,应尽可能接近室内的设计气流速度;
4.5.2.对单向流洁净室,其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向;对于非单向流洁 净室,采样管口宜向上;
4.5.3.采样管必须干净,连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定,如 果无规定时,不宜大于 1.5m;
4.5.4.室内的测定人员必须穿洁净工作服,且不宜超过 3 名,并应远离或位于采样点 的下风侧静止不动或微动。
4.6 记录数据评价
空气洁净度测试中,当全室(区)测点为 2~9 点时,必须计 算每个采样点的平均粒子浓度Ci 值、全部采样点的平均粒子浓度N及其标准差,导出 95%置信上限值;采样点超过 9 点时,可采用算术平均值 N 作为置信上限值。
4.6.1 每个采样点的平均粒子浓度Ci 应小于或等于洁净度等级规定的限值,见表4.6-1。
表 B.4.6—1 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值
洁净度等
大于或等于表中粒径 D 的最大浓度 Cn(pc/m3)          
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm  
1 10 2 -- -- -- --
2 100 24 10 4 -- --
3 1000 237 120 35 8 --
4 10000 2370 1020 352 83 --
续表 B.4.6-1
洁净度 等级 大于或等于表中粒径 D 的最大浓度 Cn(pc/m3)          
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm  
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 -- -- -- 352000 83200 2930
8 -- -- -- 3520000 832000 29300
9 -- -- -- 35200000 8320000 293000
注:1 本表仅表示了整数值的洁净度等级(N)悬浮粒子最大浓度的限值。
2 对于非整数洁净度等级,其对应于粒子粒径 D(μm)的最大浓度限值(Cn), 应按下列公式计算求取 Cn.
3 洁净度等级定级的粒径范围为 0.1~5.0μm,用于定级的粒径数不应大于 3 个,且其粒径的顺
序差不应小于 1.5 倍。
           
4.6.2.全部采样点的平均粒子浓度N的 95%置信上限值,应小于或等于洁净度等级规 定的限值。即:
式中 N 室内各测点平均含尘浓度,N=∑Ci/n; n 测点数;
s 室内各测点平均含尘浓度 N 的标准差:
t 置信度上限位 95%时,单侧 t 分布的系数,见表 B.4.6-2。
表 B.4.6-2 t 系 数
点数 2 3 4 5 6 7~9
t 6.3 2.9 2.4 2.1 2.0 1.9
4.7.每次测试应做记录,并提交性能合格或不合格的测试报告。测试报告应包括 以下内容:
① 测试机构的名称、地址;
② 测试日期的测试者签名;
③ 执行标准的编号及标准实施日期;
④ 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图;
⑤ 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测 洁净室所处的状态、气流流型和静压差;
⑥ 测量用的仪器的编号和标定证书;测试方法细则及测试中的特殊情况;
⑦ 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌 的的菌落数);
⑧ 对异常测试值进行说明及数据处理。
5.室内浮游菌和沉降菌的检测
5.1.微生物检测方法有空气悬浮微生物法和沉降微生物法两种,采样后的基片(或平皿)经过恒温箱内37℃、48h 的培养生成菌落后进行计数。使用的采样器皿 和培养液必须进行消毒灭菌处理。采样点可均匀布置或取代代表性地域布置。
5.2.悬浮微生物法应采用离心式、狭逢式和针孔式等碰击式采样器,采样时间 应根据空气中微生物浓度来决定,采样点数可与测定空气洁净度测点数相同。各种采样 器应按仪器说明书规定的方法使用。沉降微生物法,应采用直径90mm 培养皿,在采样点上沉降30mm 后进行采样, 培养皿最少采样数应符合表B.5.2的规定。
5.3.制药厂洁净室(包括生物洁净室)室内浮游菌和沉降菌测试,也可采用按 协议确定的采样方案。
表 B5.2 最少培养皿数
空气洁净度级别 培养皿数
<5 44
5 14
6 5
≥7 2
5.4.用培养皿沉降菌,用碰撞式采样器或过滤采样器测定游浮菌,还应遵守以 下规定:
① 采样装置采样前的准备及采样后的处理,均应在设游高效空气过滤器排风的负 压实验室进行操作,该实验室的温度应为22±2℃;相对湿度为50%±10%;
② 采样仪器应消毒灭菌;
③ 采样器选择应审核其精度和效率,并有合格证书;
④ 采样装置的排气不应污染洁净室;
⑤ 沉降皿个数及采样点、培养基及培养温度、培养时间应按有关规范的规定执行;
⑥ 浮游菌采样器的采样率宜大于100L/min;
⑦ 碰撞培养基的空气速度应小于20m/s。
6.室内空气温度和相对湿度的检测
6.1.根据温度和相对湿度波动范围,应选择相应的具有足够精度的仪表进行测 定。每次测定时间隔不应大于30min。
6.2.室内测定布置:
① 送回风口处;
② 恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置);
③ 没有恒温要求的洁净室中心;
④ 测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m,离地面0.8m 的同一高度上;也可 以根据恒温区的大小,分别布置在离地不同高度的几个平面上。
6.3.测点数应符合表B.6.1的规定。
表 B.6.1 温、温度测点数
波动范围 室面积《50m2 每增加 20~50m2
Δt=±0.5~±2℃ 5 个 增加 3~5 个
ΔRH=±5℅~±10℅    
Δt≤±0.5℃ 点间距不应大于 2m,点数不应少于 5 个  
ΔRH≤±5℅    
6.4.有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制 点温度的最大值,占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值 在室温波动范围内,为符合设计要求。反之,为不合格。
区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准,各测点平均温度与超偏差值的点 数,占测点总数的百分比整理成累计统计曲线,90%以上测点所达到的偏差值为区域 温差,应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。
7.单向流洁净室截面平均速度,速度不均匀度的检测
7.1.洁净室垂直单向流和非单向流应选择距离或围护结构内表面大于0.5m,离地面高度0.5~1.5m 作为工作区。水平单向流以距送风墙或围护结构内表面0. 5m 处的纵断面为第一工作面。
7.2.测定截面的测点数和测定仪器应符合本规范第6.3条的规定。
7.3.测定风速应用测定架固定风速仪,以避免人体干扰。不得不用手持风速仪测定时,手臂应伸至最长位置,尽量使人体远离测头。
7.4.室内气流流形的测定,宜采用发烟或悬挂丝线的方法,进行观察测量与记录。然后,标在记录的送风平面的气流流形图上。一般每台过滤器至少对应1各观察点。 风速的不均匀度β0按下列公式计算,一般β0值不应大于0.25。
式中. v——各测点风速的平均值;s——标准差。
8.室内噪声的检测
8.1.测噪声仪器应采用带倍频程分析的声级计.
8.2.测点布置应按洁净室面积均分,每50m2 设一点.测点位于其中心,距 地面1.1~1.5m 高度处或按工艺要求设定。

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